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與螺桿式緊縮機(jī)類似，螺桿式干式真空泵的工作進(jìn)程可分為吸氣、緊縮和排氣三個(gè)進(jìn)程。跟著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對(duì)互相嚙合的齒相繼結(jié)束相同的工作循環(huán)，如今以其中一對(duì)齒來(lái)說(shuō)明。
吸氣進(jìn)程：
陽(yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
緊縮進(jìn)程：
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽(yáng)轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。